作业帮蓝宝石抛光液的选择蓝宝石抛光液,苏州纳迪微电子的技术怎么样?
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/05/03 07:53:04
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蓝宝石抛光液的选择
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蓝宝石抛光液,国外的知名生产商有Saint Gobain,Baikowski,Fujimi,Ferro等,纳迪微电子的蓝宝石抛光液比Fujimi好,媲美Saint Gobain.其制备的α-Al2O3原始颗粒在100纳米以下,团聚少,分散性好,不易沉降,比市场上的SiO2抛光液具有3倍以上的抛光速度,缩短抛光时间进而可使抛光片平整度更高.比市场上的氧化铝抛光液（进口）成本更低,划伤更少,服务好,效率高,使用成本低,2%~5% Al2O3 抛光液可相当于 20% 浓度的SiO2抛光液.最终粗糙度可以达到1nm 以下,接近SiO2溶胶.
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谁有化学机械抛光CMP的抛光视频啊.有的话发到我邮箱上哦.最好是蓝宝石抛光
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