怎样降低PECVD石墨舟的使用成本

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/03 03:19:47
怎样降低PECVD石墨舟的使用成本

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怎样降低PECVD石墨舟的使用成本

怎样降低PECVD石墨舟的使用成本
电板夹拆下后放入5%的HF溶液中泡三四个小时(氮化硅泡掉为止),再提至清水槽中泡一个小时(最好有鼓泡),吹干水份放入烤箱中烘一个小时左右(最好有吹风装置)